自支撐X射線光學(xué)元件的制作工藝及應(yīng)用.pdf

1、X射線是現(xiàn)代科學(xué)研究中非常重要的工具，在現(xiàn)代新能源研究以及航空航天等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。在實現(xiàn)X射線核心功能的過程中，X射線光學(xué)元件起著至關(guān)重要的作用。X射線作為一種波長非常短的電磁波，它的特性與人們熟悉的可見光迥異，對應(yīng)的X射線光學(xué)元件也非常特殊。本文制作的透射式X射線光學(xué)元件需要有自支撐結(jié)構(gòu)，這就對現(xiàn)代微納加工工藝提出了很大的挑戰(zhàn)!
　　 本文主要研究兩種X射線光學(xué)元件：一種是自支撐X射線衍射光柵，經(jīng)過測試其衍射性能良好。

2、另一種是X射線二極管平響應(yīng)濾片，該元件成功應(yīng)用于相關(guān)單位的慣性約束聚變研究中。
　　 本文的主要內(nèi)容包括：
　　 (1)介紹自支撐X射線透射光柵以及X射線二極管平響應(yīng)濾片在航空航天以及慣性約束聚變中的應(yīng)用背景。對應(yīng)于X射線的特性，闡釋了X射線透射光柵的相關(guān)理論知識以及對光柵結(jié)構(gòu)的參數(shù)要求；介紹了X射線二極管平響應(yīng)濾片的結(jié)構(gòu)特點；以及對現(xiàn)代微納加工技術(shù)提出的挑戰(zhàn)。
　　 (2)重點研究了高線密度自支撐X射線透射光柵

3、制作過程中的幾個工藝難點：先介紹了制作自支撐X射線透射光柵的整個工藝流程，然后研究了支撐薄膜工藝、微電鍍工藝、光柵線條的校正工藝。
　　 (3)詳細(xì)介紹了加強筋非周期自支撐33331p/mm X射線透射光柵的制作過程，對于非周期加強筋的出現(xiàn)背景，結(jié)構(gòu)的具體設(shè)計都做了重點研究。對制作完成的光柵在5nm到25nm波段做了相關(guān)衍射效率的測試。
　　 (4)介紹了X射線二極管平響應(yīng)濾片具體應(yīng)用背景以及整個的濾片制作工藝流程。濾片