多功能激光修調(diào)系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著微電子技術(shù)的蓬勃發(fā)展，各種電子類產(chǎn)品正以驚人的速度向小型化發(fā)展，薄厚膜混合集成電路作為微電子技術(shù)的一個重要組成部分已經(jīng)運用到各類電子產(chǎn)品中，而激光修調(diào)系統(tǒng)是生產(chǎn)薄厚膜混合集成電路的關(guān)鍵。
　　 本文圍繞多功能激光修調(diào)系統(tǒng)的組成，介紹了激光控制與定位系統(tǒng)、機械運動系統(tǒng)、電阻及溫度測量系統(tǒng)、用戶使用系統(tǒng)，此外本文還對激光修調(diào)的一般切割形式進行了研究。
　　 對于激光控制與定位系統(tǒng)、機械運動系統(tǒng)、電阻及溫度測量系統(tǒng)，本文從

2、功能、組成部分以及連接方式等方面進行了介紹。
　　 用戶使用系統(tǒng)是使上述各個系統(tǒng)協(xié)調(diào)工作的關(guān)鍵，它主要包括命令系統(tǒng)和界面系統(tǒng)。本文首先對命令系統(tǒng)的各個命令進行了介紹，然后給出了具體的使用命令的實例。界面系統(tǒng)由主界面、命令編輯界面、系統(tǒng)設(shè)置界面、測量設(shè)置界面、文字打印與編輯設(shè)定界面組成，本文詳細介紹了各個界面的組成部分、功能和使用方式。
　　 激光修調(diào)一般采用I、L、D、U、M形式進行，通過了解各種切割形式時的電阻變換規(guī)律