激光調(diào)阻機擴展測量系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著信息技術(shù)的迅猛發(fā)展,各類電子產(chǎn)品的小型化已經(jīng)是不可逆轉(zhuǎn)的趨勢。而厚膜混合集成電路的發(fā)展對電子設(shè)備的微型化起到了重要的推動作用,但其自身的制作工藝決定了厚膜電阻阻值的存在制造誤差大的問題,必須對厚膜電阻進行微調(diào)才能滿足精度要求,激光調(diào)阻機就是一種非常理想的對厚膜電阻進行微調(diào)的自動化加工設(shè)備。
　　市場現(xiàn)有激光調(diào)阻機無法滿足毫歐級電阻以及板上網(wǎng)絡(luò)電阻的測量與修調(diào)需求,本課題針對這一現(xiàn)狀設(shè)計開發(fā)了激光調(diào)阻機擴展測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要包

2、括毫歐電阻擴展測量儀和網(wǎng)絡(luò)電阻擴展測量儀,本文圍繞上述擴展測量系統(tǒng)進行了以下幾個方面的研究和設(shè)計工作。
　　本文首先分析了幾種電阻測試的基本方法與原理,從中選定了開爾文連接測試方法作為本課題的測試方案,并在此基礎(chǔ)上提出了激光調(diào)阻機擴展測量系統(tǒng)的總體規(guī)劃與技術(shù)方案。其次分析了常用恒流源電路的基本原理,并提出了高精度的程控大電流恒流源的設(shè)計方案,完成了毫歐電阻擴展測量儀的硬件設(shè)計、散熱設(shè)計及軟件設(shè)計,滿足了激光調(diào)阻中毫歐級電阻測量對激