X射線測厚儀的研究與實現(xiàn).pdf

1、本論文利用X射線與物質(zhì)相互作用的原理對X射線測厚儀的標定方法進行了改進，根據(jù)國外的經(jīng)驗設(shè)計了一套以射線源、C型架、冷卻裝置、系統(tǒng)控制及采集等為主體的精度較高，工作較穩(wěn)定的X射線測厚設(shè)備，提高了測量精度。通過X射線穿過物質(zhì)時，強度的衰減與物質(zhì)厚度的關(guān)系來測量厚度。主要的工作如下： 首先介紹了測厚儀的發(fā)展過程及現(xiàn)狀，然后從理論上研究了測厚儀的工作原理。 本文的重點是X射線吸收的理論計算。在這部分討論了連續(xù)X射線譜的硬化，及硬

2、化對測厚造成的影響。由于能譜的硬化，物質(zhì)對X射線的吸收系數(shù)隨著厚度的增加而減小，從而導致了厚度測量精確度的降低。為了提高精確度，采用“等效單能譜”來代替全能譜進行理論計算。實驗中對X射線管加25kV與30kV管電壓，使不同強度X射線穿過一系列鋁箔后，利用數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進行模擬量電壓采集。利用X射線在物質(zhì)中的衰減規(guī)律計算得到不同厚度時鋁對X射線的吸收系數(shù)，并采用多項式法對鋁的吸收系數(shù)進行標定來消除X射線硬化在實際操作過程中對厚度測量的影響。