微小容器真空保持技術(shù)的研究.pdf

1、許多密閉的系統(tǒng)和元件都需要在真空條件下才能正常的工作，近十年來，這種真空應(yīng)用越來越多，如CRTs，X射線管，金屬杜瓦瓶，真空絕熱管和真空絕熱板等。它們都存在的一個問題是其真空度在長期工作條件下都會惡化。如何保證其真空度維持在一定的水平，保證器件正常的工作條件，是廣大真空工作者需要解決的問題。 本文研究了紅外線成像儀紅外探頭傳感元件上用來真空絕熱的，體積大約為9～13ml，類似于杜瓦結(jié)構(gòu)的微小容器的真空度惡化的原因，討論如何在長達(dá)

2、十年之久的時間內(nèi)仍能保持真空度在一定的水平。本課題所涉及到的問題很棘手的，如微小容器不能進(jìn)行高溫除氣，抽氣過程中不能測量內(nèi)部真空度及不能使用蒸散型吸氣劑。 由于微小容器的主要構(gòu)成材料為可閥合金——鐵、鎳、鈷的合金，因此我們需要測定此可閥合金在常溫下的放氣率，故在蘭州物理所，經(jīng)過半年的努力，建成了材料放氣率的真空測量系統(tǒng)，并且測得了可閥合金的放氣率實(shí)驗數(shù)據(jù)，并運(yùn)用相關(guān)模型進(jìn)行了計算和研究。 材料放氣模型，除了由表面脫附解吸

3、引起的放氣外，其研究材料長期的放氣有兩種理論：擴(kuò)散限制模型和表面復(fù)合模型。應(yīng)用較多的是擴(kuò)散限制模型，目前的研究很多都是關(guān)于它的；而表面復(fù)合模型由于受到各種因素的影響，目前還只停留在理論的研究上，其具體的實(shí)際應(yīng)用還沒有。本文，比較系統(tǒng)的討論了兩種模型，并且對兩種模型的應(yīng)用條件和范圍進(jìn)行了探討。 論文討論了材料放氣率的影響因素，對于用熱陰極電離計測量材料放氣率時，氣體成分的影響進(jìn)行了討論；討論了再吸附對測量材料放氣率的影響；綜合分析