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1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文(CoFe)C顆粒膜的微觀結(jié)構(gòu)與磁性質(zhì)姓名:米文博申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師:白海力20031201天津大學(xué)碩士學(xué)位論文—————————————————————————。。。。。。。。。。__。_。_______●_____●__。。。。。。。。。。。。。?!_______‘____________?!獳BSTRACT(Co,F(xiàn)e)Cgranularfilmswerefabricatedby
2、aDCfacingtargetmagnetronsputteringsystematroomtemperatureandweresubsequentlyannealedatdifferenttemperaturesThesurfacemorphologycomposition,microstmctureandmagneticpropeaieswereinvestigatedbyusingatomicforcemicroscopy(AFM
3、),Xrayphotoelectronspectroscopy(xPs),X—raydiffraction(XRD),transmissionelectronmicroscopy(TEM),highresolutiontransmissionelectronmicroscopy(HRTEM)andvibratingsamplemagnetometerfvSM)AFMresultsindicatethattheaveragesurface
4、roughnessofasdepositedCoCgranularfilmsissmalleribanthatofSi(100)substratesHowevertheaveragesurfaceroughnessofas—depositedFewCgranularfilmsislargerthanthatofSi(100)substratesandincreaseswitlltheincreaseofannealingtemperat
5、ureXRD,HRTEM,SAED,andXPSanalysesshowthattheasdepositedCo—Cgranularfilmsconsistof~2nnlamorphousCogranulesembeddedinamorphousCmatrixWiththeincreaseofannealingtemperature,theamorphousCoCgranularfilmscrystallizeandthesizeofC
6、ogranulesincreasesDuetotheconstrictionsofcrystallographicenvironment,whentheannealtemperaturereaches450oC,hcp—Cophaseappears,whichisgenerallyconsideredtobestableattemperaturesbelow425oCTheasdepositedFe4sCs2granularthinfi
7、lmsarecomposedof~4nnlamorphousFegranulesdispersedinamorphousCAnnealedattemperaturesabove400oC,theamorphousFecrystallizesto旺一FeanditssizeincreaseswiththeannealtemperatureComparedwitllCo—Cgranularfilms,amorecompletecrystal
8、lizationofamorphousFegranulesCanbeobservedintheHRTEMimageofFeCgranularfilmsannealedatthesameconditionsMagneticmeasurementsindicatethatthecoercivityofasdepositedCo—CgranularfilmsdecreaseswithCoconcen仃ationandfilmthickness
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