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1、CoPt合金膜作為一種磁性存儲(chǔ)材料,由于其具有較大的各向異性和矯頑力,一直受到研究者的重視。同時(shí)C能夠增大磁性顆粒之間的距離,這對(duì)減小介質(zhì)噪音很有意義,所以CoPt/C納米磁性顆粒膜得到了非常廣泛的研究。本文在參考以前關(guān)于CoPt/C顆粒膜實(shí)驗(yàn)研究的基礎(chǔ)上,采用直流磁控濺射方法制備了C(72A)/[Co43Pt57(7A)/C(8A)]x(x=50-7)和C(72(A°))/[Co50Pt509.8(9A)/C(8(A°))]x(x=1
2、0-60)兩個(gè)系列樣品。然后在真空度4×10-4Pa、700℃、退火3小時(shí)。本文對(duì)樣品的結(jié)構(gòu)和磁性進(jìn)行了系統(tǒng)的分析和研究,對(duì)提高磁記錄密度具有非常重要的意義。文中得出了以下結(jié)論: 1.結(jié)構(gòu)方面:熱處理后的樣品結(jié)構(gòu)優(yōu)化。XRD測(cè)量表明:由濺射態(tài)的fcc相占大部分向fct相占大部分轉(zhuǎn)變。AFM測(cè)量發(fā)現(xiàn):熱處理導(dǎo)致了薄膜原來(lái)的層狀結(jié)構(gòu)的破壞,形成了分布均勻的顆粒膜。 2.磁性方面:濺射態(tài)樣品的矯頑力只有幾十奧斯特,剩磁比也很小
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