

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、隨著微電子技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,超光滑表面的應(yīng)用日益廣泛,對(duì)超光滑表面質(zhì)量的要求也越來(lái)越高。作為光學(xué)元件,為獲得高反射率特別強(qiáng)調(diào)表面的低散射率或極低粗糙度值;作為功能元件,還特別注重表面晶格的完整性。目前現(xiàn)有的加工方法因其自身局限性,很難滿足超光滑表面加工的苛刻要求。大氣等離子體拋光方法作為一種新興的表面加工方法,因其特殊的拋光機(jī)理,可以實(shí)現(xiàn)材料表面的原子量級(jí)化學(xué)去除,能夠獲得極低的表面粗糙度,且加工后不會(huì)對(duì)工件表層及亞表層造成損傷
2、。目前國(guó)外已有學(xué)者開始對(duì)常壓大氣條件下等離子體拋光進(jìn)行研究,而國(guó)內(nèi)的相關(guān)研究尚處于起步階段。本文圍繞等離體拋光系統(tǒng)的設(shè)相關(guān)使用方法及加工過程出現(xiàn)的沉積問題對(duì)大氣等離子體拋光進(jìn)行了初步研究。
為了進(jìn)行大氣等離子體拋光的相關(guān)工藝實(shí)驗(yàn)研究,本文介紹了大氣等離子體拋光系統(tǒng),以及基于介質(zhì)阻擋放電原理工作的等離子體炬、配合供氣系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)等其它輔助設(shè)施,可以實(shí)現(xiàn)常壓大氣條件下的工件表面加工的要求。并且從大氣等離子體拋光
3、的化學(xué)本質(zhì)角度分析了等離子體在大氣壓條件下的激發(fā)機(jī)理和具體應(yīng)用拋光過程,揭示大氣等離子體拋光過程中超光滑表面的形成機(jī)理。
等離體所激發(fā)的活性反應(yīng)粒子是直接參與加工的反應(yīng)成分,活性粒子的濃度對(duì)大氣等離體拋光過程有著至關(guān)重要的作用,本文通過光譜分析的方法,采用光譜分析儀采集等離子體射流的軸向及徑向的原子發(fā)光光譜,通過分析特征譜線的相對(duì)強(qiáng)度來(lái)定性地評(píng)價(jià)相應(yīng)活性粒子的濃度,建立了活性粒子濃度分布的空間模型。并對(duì)等離子體射流特性進(jìn)行了分
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 表面缺陷結(jié)構(gòu)對(duì)硅基材料大氣等離子體拋光質(zhì)量的影響研究.pdf
- 基于等離子體超材料的人工表面等離子體研究.pdf
- 大氣壓等離子體拋光工藝仿真.pdf
- 大氣低溫等離子體拋光方法及其系統(tǒng)的研究.pdf
- 大氣等離子體拋光系統(tǒng)設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 常壓等離子體構(gòu)建滌綸織物超疏水表面的研究.pdf
- 大氣壓DBD等離子體炬對(duì)幾種有機(jī)基體表面的聚合改性研究.pdf
- 大氣壓等離子體對(duì)BOPP薄膜表面結(jié)構(gòu)調(diào)控研究.pdf
- 等離子體拋光機(jī)理的研究.pdf
- 薄層等離子體與表面等離子體激元的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 等離子體引發(fā)霧聚合制備功能化表面的研究.pdf
- 液體約束微大氣等離子體區(qū)域選擇性拋光的研究.pdf
- 表面等離子體混合波導(dǎo)及超透鏡仿真研究.pdf
- 光致大氣等離子體特性研究.pdf
- 基于表面等離子體的超分辨光刻技術(shù)研究.pdf
- 基于超表面結(jié)構(gòu)的等離子體偏振器件的研究.pdf
- 微波等離子體表面激元及表面波等離子體研究.pdf
- 低溫等離子體對(duì)魚體表面殺菌研究.pdf
- 大氣等離子體處理和碳納米管對(duì)清漆涂層-碳鋼界面的影響機(jī)制研究.pdf
- 22799.表面等離子體超分辨光刻成像研究
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論