納米薄膜非平衡熱導率的實驗及理論研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、青島科技大學碩士學位論文納米薄膜非平衡熱導率的實驗及理論研究姓名：段占立申請學位級別：碩士專業(yè)：化工過程機械指導教師：馬連湘20090418青島科技大學研究生學位論文EXPERIMENTALANDTHEORETI(1氣LRESEARCH0NNON—EQUILIBRIUMTHERMALCONDUCTIVITY0FNANOSCAI，ETHINFILMSThinfilmswiththicknessinmicro?！畇caleandnanosc

2、aleareimportantsubassembliesintheapplicationareassuchasintegratedcircuittransinstors，photoelectronicandMEMSdevicesTheperformanceandreliabilityofthedevicesarestronglydependentontheheatconductioninthinfilmsDuetothetinysize

3、ofthethinfilminthethicknessdirection，microstructureandboundaryeffects，thethermalconductivity(TC)ofthinfilmsarequitedifferentfromcorrespondingbulkmaterialsandtheheattransfercharacterizationofthinfilmsmayalsodifferentfromc

4、lassicalmacroscopyNanofilmthermaltransmissionsarcthehotspotsofthecurrentmicroscaleheattransferBasedontheboundaryeffectsandtheassumptionoftransportequationsthatdeviatefromthelargescaleoflocalthermalequilibrium，thepaststud

5、iesabouttheheatconductionofthinfilmmaterialsbasedbalanceconditionsActuallythemeanfreepathofphononinnano—filmstructureislargerthanthesizeoffilms，whichdon。tmeetthebalanceofheatconductionconditionsTherefore，ithasimportantsi

6、gnify7cancetostudynonequilibriumthermalconductivityofnano—filmAtthebasisofoverviewofathomeandabroadresearches，experimentalandtheoreticalmethodisverifiedtoresearchthethermalconductivityofnanothinfilmmeasurementinthispaper

7、A3comeasurementsystemissetupafterastudyoftheexistingmethodsThesystemisverifiedbymeasurementofthePECVDthinfilmwiththickness400nm，whichobtaintheTCiS152(W／mK)inlinewiththeliteraturesThemeasuredTCofSi02madebyPECVDisabout45％m

8、orethanbyLPCVDWiththeincreasingfilmthickness，changehasbecomeincreasinglyWhenthesubstrateandthicknessisthesame，thedifferentdepositionmethodsofformingadifferentthin—filmmicrostructurehasledtothedifferentthermalconductivity

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