位相物體干涉測量與掃描成像系統(tǒng)的改進研究.pdf

1、位相物體的測量與成像是光學領域的一個重要研究課題，生物、醫(yī)學還是工業(yè)生產(chǎn)過程中，位相物體測量與成像技術都發(fā)揮著重要的作用。傳統(tǒng)的位相物體成像技術，已經(jīng)有很長的發(fā)展歷史。隨著顯微測量技術的發(fā)展，部分成熟的技術也已產(chǎn)業(yè)化。但傳統(tǒng)成像技術都只是停留在相位對比度和成像效果上，對于定量精度測量則發(fā)展緩慢，因此應用受到很大的限制。
　　 針對上述的不足，課題組提出了一種位相物體測量與成像的新技術[1]--位相物體干涉測量與掃描成像技術，不但

2、能實現(xiàn)對位相進行定量測量，而且能對位相物體進行成像，圖像顯示有多種形式，如偽彩圖、灰度圖和三維立體圖形等。
　　 本論文在原有的位相物體測量與成像實驗系統(tǒng)基礎上，對原有的圖像反演相位算法進行了改進、提出了極值間距算法，同時改進了原有的楊氏干涉成像部分，對改進后的部分進行了對比試驗，并對其進行分析，得到了有意義的結果。主要完成的工作及取得成果如下：
　　 一、對原有的圖像反演相位算法進行了改進，提出極值間距算法，在精度略有

3、提高的基礎上，明顯的減少了系統(tǒng)的計算時間。
　　 二、采用Visual C++6.0軟件編寫，將圖像采集和圖像反演相位算法進行整合，實現(xiàn)系統(tǒng)的全自動化。
　　 三、改進了楊氏干涉系統(tǒng)部分，使在精度不變的基礎上，明顯的縮短了系統(tǒng)的尺寸，增加了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，便于系統(tǒng)的集成化和產(chǎn)品化。
　　 四、對改進后的系統(tǒng)進行了多方面的對比實驗并進行了理論分析。
　　 五、通過不同波長激光器的實驗，再次驗證了系統(tǒng)的有效性，