MEMS平面磁芯螺旋微電感的制造技術(shù)研究.pdf

1、便攜式產(chǎn)品的小型化促使其中的電源管理芯片如DC/DC變換器向著微型化方向發(fā)展，同時(shí)為了提高電路性能如降低電感電流紋波、提高最大負(fù)載電流，提高整個(gè)系統(tǒng)轉(zhuǎn)換效率等等使得在不降低芯片效率的同時(shí)需要提高開(kāi)關(guān)頻率、所以需要選用性能較好的微電感作為主要元器件。這使得市場(chǎng)對(duì)研制高功率、低損耗的微型化器件提出了迫切的需求。目前應(yīng)用于DC/DC變換器的集成微電感需要滿足如電感量和Q值相對(duì)較大、器件占用面積小、飽和電流大以及工藝兼容等要求。MEMS技術(shù)的迅

2、速發(fā)展為研制高性能的集成電感提供了可行性，將薄膜技術(shù)融入到MEMS技術(shù)中可以研制出具有低電阻、高電感量、高品質(zhì)因子及可以批量化生產(chǎn)的集成微電感，滿足于各種應(yīng)用下的電源管理系統(tǒng)。本文完成的工作主要包括采用Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀和振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)(VSM)對(duì)磁芯材料性能進(jìn)行測(cè)試研究；從電磁場(chǎng)理論出發(fā)，結(jié)合平面線圈電感計(jì)算、磁頭理論的基本模型以及片上電感的簡(jiǎn)化π模型對(duì)微電感進(jìn)行建模設(shè)計(jì)；采用MEMS技術(shù)包括光刻、電鍍、