MEMS平面磁芯螺旋微電感的制造技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、便攜式產(chǎn)品的小型化促使其中的電源管理芯片如DC/DC變換器向著微型化方向發(fā)展，同時為了提高電路性能如降低電感電流紋波、提高最大負載電流，提高整個系統(tǒng)轉(zhuǎn)換效率等等使得在不降低芯片效率的同時需要提高開關(guān)頻率、所以需要選用性能較好的微電感作為主要元器件。這使得市場對研制高功率、低損耗的微型化器件提出了迫切的需求。目前應用于DC/DC變換器的集成微電感需要滿足如電感量和Q值相對較大、器件占用面積小、飽和電流大以及工藝兼容等要求。MEMS技術(shù)的迅

2、速發(fā)展為研制高性能的集成電感提供了可行性，將薄膜技術(shù)融入到MEMS技術(shù)中可以研制出具有低電阻、高電感量、高品質(zhì)因子及可以批量化生產(chǎn)的集成微電感，滿足于各種應用下的電源管理系統(tǒng)。本文完成的工作主要包括采用Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀和振動樣品磁強計(VSM)對磁芯材料性能進行測試研究；從電磁場理論出發(fā)，結(jié)合平面線圈電感計算、磁頭理論的基本模型以及片上電感的簡化π模型對微電感進行建模設計；采用MEMS技術(shù)包括光刻、電鍍、

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