共平面DGS結(jié)構用于MEMS可重構濾波技術研究.pdf

1、可重構濾波器是雷達和現(xiàn)代多頻帶通信系統(tǒng)中的重要元件,MEMS可重構濾波器克服了傳統(tǒng)可重構濾波器的缺點,具有低功耗、高隔離、低的插入損耗、體積小,以及可以實現(xiàn)各個通信部件的微型化和集成化等優(yōu)點,可以提高信號處理速度和縮小整個雷達通信系統(tǒng)的功耗和體積,受到越來越廣泛的關注。缺陷接地結(jié)構(defcted ground structure,簡稱DGS)是在電磁帶隙(EBG)結(jié)構的基礎上發(fā)展起來的。它與電磁帶隙結(jié)構一樣,使特定頻段內(nèi)的電磁波不能在

2、其中傳輸,有明顯的禁帶特性和慢波特性,本文將共平面DGS結(jié)構用于MEMS可重構濾波器的設計,得到的MEMS濾波器的尺寸小,帶內(nèi)插損小,帶外抑制高,論文的主要工作有:
　　1.研究了共平面DGS結(jié)構,提出一種利用共平面DGS結(jié)構實現(xiàn)的MEMS低通濾波器,用高頻仿真軟件HFSS進行了仿真、提取等效電路模型,分析結(jié)構尺寸參數(shù)對MEMS低通濾波器特性的影響。
　　2.引入MEMS電容膜橋,設計了共平面DGS結(jié)構的MEMS可重構低通濾

3、波器,經(jīng)過仿真,得到的濾波器重構前后的截止頻率為16.19GHz和19.71GHz,其帶內(nèi)插入損耗為1.18dB,帶外衰減可達40dB。
　　3.采用鋁硅膜橋表面微機械加工工藝,進行了流片加工,對關鍵技術如腐蝕工藝、犧牲層工藝進行重點研究,以保證器件的成功制作,根據(jù)DGS缺陷接地結(jié)構的慢波特性以及MEMS小尺寸的特性,得到的可重構低通濾波器尺寸大為減小,包括偏壓線在內(nèi)的尺寸為4.1mm×1.4mm。
　　4.初步測試結(jié)果得到