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1、光開關(guān)是實現(xiàn)全光網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵器件，本文對MEMS光開關(guān)執(zhí)行器－平行電容板結(jié)構(gòu)進行理論研究，建立了靜態(tài)方程，得出了上極板偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動電壓的關(guān)系和驅(qū)動電壓與平行電容板結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的關(guān)系。并對平行電容板結(jié)構(gòu)進行了動態(tài)分析，導(dǎo)出了響應(yīng)時間影響因子的計算公式，分析研究了響應(yīng)時間的各種影響因素。 將脈沖電壓驅(qū)動應(yīng)用于平行電容板結(jié)構(gòu)，用PWM技術(shù)對脈沖電壓的寬度進行調(diào)制，建立了在脈沖電壓驅(qū)動下的理論分析模型。理論分析結(jié)果表明：脈沖電壓的調(diào)
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