微小零件平面度精密測量裝置研究與設計.pdf

1、對于航空航天靜壓軸承、靜壓導軌中的氣浮元器件等，都具有精度高、加工誤差難于檢測的特點。當零件的尺寸小，平面度優(yōu)于1μm時，常規(guī)的平晶難于定量檢測。目前對于小尺寸零件平面度檢測可采用輪廓儀、超精密測量儀、臺階儀等設備，但是其價格卻十分的昂貴，并且大多測量儀器都是從國外引進，工程應用成本高，不適合推廣應用。在低成本下研究微小零件平面度高精度測量對于我國工業(yè)的發(fā)展有著深遠意義。
　　本文設計了一種小尺寸零件平面度精密測量裝置，在滿足低成

2、本的前提下實現高精度測量，為小尺寸零件平面度的測量提供一種便捷、精確的測量手段。該裝置采用二維柔性導向機構做為平面測量基準，通過微分頭驅動工作臺實現二維平面掃描運動，測試并分析了導向機構在x、y方向的導向精度，使用LVDT傳感器結合AD698設計一維測頭，由測力可調的電感測頭測量工件表面高度變化。采用標準平晶作為被測件在10mm×10mm范圍內進行測量，對測量數據應用最小二乘法進行平面度評價，得到設計的測量裝置的測量不確定度為0.644