脈沖真空電弧離子源控制系統(tǒng)研制.pdf

1、脈沖真空電弧離子鍍膜技術(shù)以其高離化率、高離子能量、高生產(chǎn)效率以及膜層液滴污染小等優(yōu)點(diǎn)日益得到廣泛的研究及應(yīng)用.但是,目前脈沖真空電弧離子源控制系統(tǒng)的研究與開(kāi)發(fā)國(guó)內(nèi)尚屬首次,從查閱的有關(guān)資料來(lái)看,未見(jiàn)有報(bào)導(dǎo).課題以研究脈沖真空電弧離子源為基礎(chǔ),著重進(jìn)行脈沖電弧離子源控制系統(tǒng)的研制.脈沖電弧離子源的工作原理是一種級(jí)聯(lián)放電的過(guò)程,它通過(guò)引弧、起弧1和起弧2三個(gè)回路的依次放電,形成等離子體,并最終引發(fā)主回路放電,起到鍍膜的目的.課題首先采用了單

2、相和三相L-C交流變換器為控制系統(tǒng)提供穩(wěn)定的交流電流源,并通過(guò)升壓和整流電路為以上四個(gè)回路的放電電容進(jìn)行充電.為了滿足不同工藝和不同陰極材料對(duì)放電電壓的要求,變壓器的輸入并聯(lián)了晶閘管,通過(guò)比較、采樣和晶閘管門(mén)極觸發(fā)電路控制晶閘管的通斷,以此達(dá)到控制回路電壓的目的.同時(shí),為了避免由于控制電路出現(xiàn)故障而引起回路電壓過(guò)大的現(xiàn)象,加入了過(guò)壓保護(hù)電路,從而有效地提高了設(shè)備運(yùn)行的安全性.在引弧回路的設(shè)計(jì)中,課題采用了兩級(jí)電容充電和雙脈沖觸發(fā)的引弧方