PZT壓電陶瓷制備工藝及性能研究.pdf

1、本文主要研究一種新的制備PZT基固溶體粉料和陶瓷的工藝方法-濕-干法。重點研究粉體的原料配比、燒結特性和陶瓷的燒成溫度、成型壓力、恒溫時間及Nb5+摻雜前后對PZT陶瓷壓電、介電性能的影響。 首先，通過濕-法合成PZT固溶體的B位先驅體，經(jīng)X射線衍射物相分析顯示，該先驅體是具有ZrTiO4結構的ZrxTi1-xO2單相氧化物固溶體，其中x值（x=0.48～0.56）超出了傳統(tǒng)工藝方法可以合成的單相固溶體的組成范圍。然后，將該先驅

2、體與氧化鉛通過固相反應（干法）合成PZT固溶體。利用XRD、SEM、ESCA和粒徑分析儀等分析，確定了固相反應溫度在750℃預燒2h可生成鈣鈦礦單相，PZT粉料顆粒的平均粒徑達到113 nm并得到準同型相界在x=0.52～0.54。 對成型后的陶瓷進行燒結特性研究，通過分析燒結溫度、成型壓力，恒溫時間等工藝參數(shù)對PZT陶瓷電性能的影響，確定純PZT陶瓷達到致密且合適的成型壓力為200 MPa，燒結溫度為1200℃，恒溫時間為2h