高介電常數(shù)BST微波參數(shù)諧振腔法測(cè)量.pdf_第1頁
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1、由于BST(BaxSr1-xTiO3)介電常數(shù)較高（通常在100 以上），傳統(tǒng)測(cè)量塊材的方法誤差很大，而BST薄膜的傳統(tǒng)測(cè)量方法—共面波導(dǎo)法測(cè)量步驟很復(fù)雜且花費(fèi)昂貴，不適合日常測(cè)試。因此本文選用相對(duì)簡(jiǎn)便的諧振腔法對(duì)BST塊材和薄膜的復(fù)介電常數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
　　 提出了諧振腔法測(cè)量BST塊材的改進(jìn)方法，針對(duì)諧振腔法測(cè)量高介電常數(shù)時(shí)由于微擾條件無法滿足而產(chǎn)生較大誤差的問題，提出用軟件仿真的方法來修正這些誤差，用仿真的結(jié)果改進(jìn)介電常數(shù)計(jì)

2、算公式。當(dāng)樣品介電常數(shù)在150 以內(nèi)時(shí)，介電常數(shù)改進(jìn)公式計(jì)算精度最大提高40%。損耗角改進(jìn)公式計(jì)算精度最大提高100%。
　　 采用了諧振腔測(cè)量BST 薄膜復(fù)介電常數(shù)的方法，從微擾理論出發(fā)推導(dǎo)出了BST薄膜介電常數(shù)和損耗角的計(jì)算公式，分析得出公式推導(dǎo)過程中的近似條件產(chǎn)生的誤差小于0.3%。用該方法測(cè)量了磁控濺射法制備的3個(gè)BST薄膜樣品，結(jié)果顯示BST薄膜介電常數(shù)在500 左右，損耗角在10-2數(shù)量級(jí)，分析得出測(cè)量總誤差為15.

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