基于亞波長(zhǎng)諧振的復(fù)介電常數(shù)非接觸測(cè)量.pdf

1、復(fù)介電常數(shù)作為反映物質(zhì)與電磁場(chǎng)相互作用的重要參數(shù)，其測(cè)量和獲取在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要的作用。迄今為止，已經(jīng)有很多測(cè)量復(fù)介電常數(shù)的理論和方法，如電容法、傳輸線法、諧振腔法和自由空間法。這些方法各有優(yōu)缺點(diǎn)。本論文針對(duì)實(shí)際應(yīng)用中大量存在的非接觸測(cè)量的測(cè)試要求，提出了基于亞波長(zhǎng)諧振單元開口諧振環(huán)(SRRs)的復(fù)介電常數(shù)測(cè)試系統(tǒng)和測(cè)試方法。
　　SRRs原本被用于左右材料的設(shè)計(jì)，后來也被應(yīng)用于微波濾波器等應(yīng)用場(chǎng)合。由于SRRs具有

2、深度亞波長(zhǎng)、高Q值的優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在也有一些通過SRRs測(cè)量復(fù)介電常數(shù)的研究。但是這些研究都只適用于大面積被測(cè)樣品(SUT)的接觸測(cè)量，而且都是通過測(cè)量SRRs的頻率偏移來反演SUT的復(fù)介電常數(shù)。這種方法難以避免SRRs與SUT之間空隙的存在，它會(huì)嚴(yán)重影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。
　　與其不同的是，本文將深度亞波長(zhǎng)、高Q、電耦合的SRRs用于高頻復(fù)介電常數(shù)的非接觸測(cè)量。由于采用非接觸測(cè)量，SUT將不再直接放置在SRRs上，這避免了接觸測(cè)量中無法良