2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、在本文中,我們利用真空陰極弧沉積技術在硅烷、氮氣和氬氣的混合氣氛下成功制備了納米復合Ti-Si-N薄膜。重點探討了硅烷流量對薄膜性質(zhì)的影響。研究結果表明,Ti-Si-N復合薄膜主要由TiN晶相和SiNx非晶相組成。隨著硅烷流量的增加,薄膜中的硅含量從2.0at.%逐漸增加到12.2at.%。隨著硅含量的增加,薄膜的(111)擇優(yōu)取向逐漸減弱,薄膜的衍射峰變?yōu)橛?111)和(200)組成。而且隨著Si含量的增加,衍射峰的半高寬逐漸增加。通

2、過觀察薄膜的斷面形貌發(fā)現(xiàn),隨著Si的摻入,薄膜中的柱狀晶逐步得到細化、致密度提高。薄膜的硬度隨著Si含量的增加先逐漸增加,然后降低,其最大值達到35Gpa左右。相比于TiN薄膜,Ti-Si-N薄膜具有更優(yōu)良的耐磨性能,摩擦系數(shù)比TiN薄膜降低50%左右。薄膜的耐腐蝕性能也得到了顯著提高。當硅烷的流量為14sccm時,薄膜中Si含量達到8.3at.%左右,薄膜的性質(zhì)達到最佳值,硬度達到35GPa,與TiN薄膜相比,摩擦系數(shù)降低50%,腐蝕

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