

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、隨著微機電系統(tǒng)MEMS(Micro Electro Mechanical System)的發(fā)展,為了滿足功能和裝配等方面的要求,很多元器件都需要具有斜面、自由曲面等三維微結構。三維微結構器件相對很多一維二維微結構器件具有很多優(yōu)異的特點,比如精度高,靈敏度高和功耗低等。MEMS主要采用以硅為主體的材料,但是在很多的MEMS中,為了提高性能或者得到特定性能,必須采用金屬微結構或元器件代替部分硅結構來實現(xiàn),或者采用全金屬微結構和元器件。金屬微
2、結構已在微小模具、微小型柔性接觸探針等方面得到了初步應用。因此對三維金屬微結構進行研究具有非常重要的意義。
本文致力于三維金屬微結構的研究,總結提出了三種制備三維微結構的方法;應用其中最佳的方法研究了三維金屬微結構在熱風速計和三維探針等方面的應用;以三維探針為例進行了工藝加工和后續(xù)的測試,結果驗證了我們的仿真結論。本文的主要工作如下:
(1)三種制備三維微結構的方法分別為應力釋放形成三維微結構、直接鍵合形成三維微結構
3、和臺階釋放形成三維微結構。在應力釋放形成三維微結構的方法中,研究得到磁控濺射所得薄膜結構的應力與濺射壓強、濺射功率和濺射類型等因素有直接的關系,因此完美控制薄膜的應力釋放形成三維微結構是非常困難的;在直接鍵合形成三維微結構的方法中,研究得到直接鍵合受到空洞的影響比較嚴重,并且由于制造三維結構時鍵合的硅片面積較小,所以目前的應用不是非常廣泛;在臺階釋放形成三維微結構的方法中,研究得到直接在一個襯底上加工出臺階代替第二種方法的直接鍵合,在臺
4、階上濺射薄膜結構層代替第一種方法的應力釋放,從而可以制備較好的三維微結構。
(2)建模仿真了熱風速計和三維探針并分別得到了熱分布圖和力學性能。從熱分布圖可以發(fā)現(xiàn),三維熱風速計相對二維熱風速計具有精度高,靈敏度高和功耗低等優(yōu)異特點;從力學性能可以發(fā)現(xiàn),三維探針的彈性形變區(qū)域的針尖位移量達到我們5~10μm的要求,并且可以根據實際的要求制備不同排列方式和排列密度的探針卡。
(3)對三維探針進行了工藝加工和芯片測試,得到了
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 連續(xù)激光三維微結構直寫系統(tǒng)的設計與研究.pdf
- 激光直寫三維微結構加工工藝的研究.pdf
- 三維微結構高頻動態(tài)測試分析方法與系統(tǒng).pdf
- 三維微結構的激光熱塑成型系統(tǒng)研究.pdf
- 三維微結構電磁流變效應創(chuàng)成加工研究.pdf
- 新型三維多孔鈦陽極的微結構和性能.pdf
- 約束刻蝕劑層技術(CELT)用于金屬材料表面復雜三維微結構的加工研究.pdf
- 陶瓷材料顯微結構的三維重建研究與實現(xiàn).pdf
- UV-LIGA和微細電火花加工技術組合制造三維金屬微結構的研究.pdf
- 金屬柱平板慢波結構的三維模擬研究.pdf
- 人體尺神經顯微結構三維可視化研究.pdf
- 三維建模技術的研究與應用.pdf
- 顳骨顯微結構的三維形態(tài)分析與顳骨手術的虛擬現(xiàn)實.pdf
- 三維介質結構的積分方法研究及應用
- 電子束光刻的三維微結構的模擬計算.pdf
- 基于AFM探針刻劃可控三維微結構加工技術研究.pdf
- 三維交互技術的研究與應用.pdf
- 三維醫(yī)學建模的研究與應用.pdf
- 22739.石墨烯三維結構制備與應用
- 人正中神經內部顯微結構的三維重建與可視化研究.pdf
評論
0/150
提交評論