三維表面粗糙度參數(shù)表征及其軟件系統(tǒng)實(shí)現(xiàn).pdf

1、三維表面粗糙度參數(shù)的表征與評(píng)定是在整體上對(duì)零件表面微觀特性的描述，具有全局性，然而三維參數(shù)表征在國(guó)際上還沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。本文在深入分析和研究零件微觀表面2D/3D表征參數(shù)的基礎(chǔ)上，結(jié)合ANSI/ISO/JIS/GB等二維粗糙度參數(shù)表征標(biāo)準(zhǔn)，提出一套3D粗糙度表征參數(shù)及算法，構(gòu)建相對(duì)完善的零件微觀表面3D粗糙度表征體系，并實(shí)現(xiàn)其測(cè)量及表征軟件系統(tǒng)。
　　系統(tǒng)分析了光學(xué)非接觸測(cè)量技術(shù)相關(guān)理論及方法，建立了基于光學(xué)三角測(cè)量法的高精度三維

2、表面粗糙度測(cè)量平臺(tái)。系統(tǒng)采用Li-CCD、Ernostar光學(xué)系統(tǒng)與高速數(shù)字化處理模塊相結(jié)合的數(shù)字一體化集成激光測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)表面的高精度數(shù)字化測(cè)量和高速信號(hào)采集及處理；直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的X-Y閉式氣浮工作平臺(tái)，有效提高工作臺(tái)的承載力及運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性；高精度雙層金屬直線光柵為位置檢測(cè)元件，可達(dá)到最高0.1μm的分辨率，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的精確定位。
　　通過(guò)對(duì)二維粗糙度表征參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)的分析研究，并參照國(guó)外三維粗糙度表征參數(shù)，提出了零件微觀表面三維

3、粗糙度參數(shù)表征體系。通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)外二維粗糙度表征參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)（ANSI/ISO/JIS/GB標(biāo)準(zhǔn)）構(gòu)成分類(lèi)的對(duì)比分析，結(jié)合國(guó)內(nèi)外相關(guān)研究成果，擬定出一套零件微觀表面三維粗糙度表征參數(shù)，給出了相應(yīng)表征參數(shù)的物理意義；利用最小二乘法建立了三維粗糙度評(píng)定基準(zhǔn)面，并根據(jù)不同參數(shù)的物理意義，構(gòu)建了其表征算法；通過(guò)對(duì)所擬定的三維表征參數(shù)的優(yōu)化分析，建立了相對(duì)完善的三維粗糙度參數(shù)表征體系。
　　構(gòu)建了數(shù)據(jù)測(cè)量及參數(shù)表征軟件系統(tǒng)。系統(tǒng)以Windows