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文檔簡介
1、 論文對MEMS的光交叉連接結(jié)構(gòu)作了全面介紹，并對三維MEMS的光交叉連接結(jié)構(gòu)的部分性能進行了研究和分析，最后，作者討論了基于三維MEMS結(jié)構(gòu)的光分插復用器在全光通信網(wǎng)中的應用。 論文在光交叉連接器的發(fā)展和市場調(diào)查的基礎(chǔ)上，分析了光交叉連接器的研究前景，并介紹了微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)特點和國內(nèi)外研究和發(fā)展的現(xiàn)狀，為下面MEMS結(jié)構(gòu)的介紹做鋪墊?！ ”疚慕榻B了一維MEMS和二維MEMS結(jié)構(gòu)及工作原理，說明了它們存在的缺點，
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