聚苯胺圖形薄膜電化學(xué)加工技術(shù)的研究.pdf

1、導(dǎo)電高聚物作為一種新型的有機材料在微電子學(xué)領(lǐng)域內(nèi)有著廣泛的應(yīng)用.該文對新型共軛導(dǎo)電高分子材料的導(dǎo)電機理進行了分析,綜合評述了導(dǎo)電高聚物薄膜制備及成形的現(xiàn)狀和發(fā)展方向.該文提出電化學(xué)微探針加工原理,設(shè)計制作了聚苯胺薄膜圖形的電化學(xué)微加工裝置,并初步在不銹鋼表面得到了特定的圖形.該文比較了恒電位法和循環(huán)伏安法電化學(xué)合成聚苯胺的特點.利用循環(huán)伏安法研究了在不同電解質(zhì)溶液中聚苯胺的電化學(xué)合成及其電化學(xué)氧化還原行為,著重分析了苯胺單體濃度、底液中

2、質(zhì)子酸濃度以及陰離子種類、掃描速度對苯胺的聚合過程和電化學(xué)活性的影響.采用傅里葉紅外光譜儀(FTIR),掃描電子顯微鏡(SEM)表征了該征態(tài)和摻雜態(tài)聚苯胺的結(jié)構(gòu)和微觀形貌.總結(jié)出在強酸性條件下,利用循環(huán)伏安法能制備出高電導(dǎo)率,較光滑的聚苯胺膜.該文自制了四電極電導(dǎo)率儀,利用此裝置較精確地測量了不同酸摻雜后的聚苯胺膜的電導(dǎo)率.此外,該文自行設(shè)計制作了電化學(xué)微加工裝置,利用此裝置在不銹鋼表面上沉積出了特征點,根據(jù)掃描電子顯微鏡觀察到的沉積圖