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1、本文主要內(nèi)容為半導(dǎo)體材料碲化鋅(ZnTe)晶體中太赫茲(THz)輻射研究。借助泵浦-探測(cè)技術(shù)研究了ZnTe晶體中光學(xué)整流產(chǎn)生的THz輻射,利用ZnTe晶體線性電光效應(yīng)(Pockels效應(yīng))探測(cè)THz輻射場(chǎng)分布,并對(duì)反應(yīng)離子刻蝕(RIE)ZnTe晶體的反射光譜進(jìn)行了研究。首先總結(jié)了THz輻射產(chǎn)生和探測(cè)的不同物理機(jī)制和輻射特性,以及THz輻射在諸多方面的應(yīng)用。其次,利用泵浦-探測(cè)技術(shù)研究了俄羅斯RMT公司生產(chǎn)的<110>立方閃鋅礦結(jié)構(gòu)Z
2、nTe晶體通過(guò)光學(xué)整流產(chǎn)生的THz輻射,觀察到了較窄(約為0.2ps)的THz場(chǎng)分布及相應(yīng)較寬(響應(yīng)超過(guò)4THz,半峰寬約為2.4THz)的THz頻譜,并運(yùn)用瓊斯矩陣對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了理論擬合。再者,同時(shí)研究了RIE刻蝕ZnTe晶體中THz輻射場(chǎng)分布,比較了刻蝕前后以及不同刻蝕條件下p-ZnTe晶體的遠(yuǎn)紅外反射光譜與泵浦-探測(cè)反射譜,獲得RIE刻蝕后ZnTe晶體損傷層平均厚度和不同RIE刻蝕條件下THz輻射場(chǎng)分布,得到了不同RIE刻蝕條
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