微傳感器宏模型提取技術研究.pdf

1、隨著傳感技術在電子產品中的應用以及電子產品的迅速普及，微機電系統(tǒng)（MEMS）取得了突飛猛進的發(fā)展，MEMS產品也已經進入主流市場。與此同時，基于MEMS的傳感器與電子電路的耦合也變得更加緊密起來。一方面微型傳感器與ASIC集成于同一芯片已成為傳感MEMS的必然發(fā)展趨勢；另一方面微型傳感器也已經步入了低功耗、低成本、小型化、集成化以及智能化的發(fā)展行列。
　　目前，微型傳感器的設計與仿真技術以及 IC電路設計與制造技術已經發(fā)展的相當成

2、熟，然而，聯(lián)接微型傳感器設計與IC電路設計的微型傳感器宏模型提取技術的發(fā)展卻相當滯后。微型傳感器通常使用微型傳感器計算機輔助設計工具進行設計，利用有限元工具進行功能驗證；集成電路（IC）設計是通過EDA工具（如Cadence Virtuoso設計軟件）來實現(xiàn)；對于微型傳感器宏模型提取，傳統(tǒng)的做法是設計人員手工制作 Verilog-A模型以便插入到 IC電路中實現(xiàn)系統(tǒng)級仿真。這些模型往往過于簡單，而且非參數(shù)化，此外，創(chuàng)建這些Verilog

3、-A模型不僅耗時、費力，而且需要綜合運用多學科知識。
　　由于消費電子行業(yè)的市場牽引，微型傳感器朝著更多功能、更低成本和更快推向市場的方向邁進，傳統(tǒng)的手工提取微型傳感器宏模型方法的發(fā)展遇到了瓶頸。鑒于此，本文介紹一種借助軟件快速、便捷的微型傳感器宏模型的提取方法。文中首先介紹了微型傳感器的系統(tǒng)設計方法，其次，介紹了微型傳感器的設計仿真及微型傳感器宏模型硬件語言描述，最后，說明了微型傳感器封裝元件與后端處理電路共同在Cadence