電掃描液晶微透鏡的設(shè)計(jì)與制作研究.pdf

1、電掃描液晶微透鏡作為一種新型的光學(xué)元器件,具有獨(dú)特的電光性質(zhì)。通過改變外加電壓,可以改變器件中的液晶分子的空間排布,使其折射率的分布發(fā)生改變,從而表現(xiàn)出特殊的光學(xué)物性。其焦距可由外加電壓來控制,當(dāng)同時(shí)給多個(gè)電極施加電壓時(shí),甚至可以實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)的擺動(dòng)。在自適應(yīng)光學(xué)、高性能成像探測以及光通信、等領(lǐng)域,具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　本文介紹了液晶類型,液晶理論以及液晶發(fā)展?fàn)顩r,闡述了液晶的電光特性,并設(shè)計(jì)了四圓餅電極微透鏡并詳細(xì)介紹了其制作器件

2、的工藝流程。首先,利用Auto-cad軟件,設(shè)計(jì)了用于制作器件電極的光刻版圖;然后通過光刻、顯影、濕法刻蝕等制作了電極結(jié)構(gòu);通過涂覆聚酰亞胺、PI固化以及摩擦等,制作了液晶的定向?qū)咏Y(jié)構(gòu);最后,經(jīng)制作液晶結(jié)構(gòu)的隔離介質(zhì)、加灌液晶、器件封裝等,獲得了四圓餅液晶微透鏡。通過實(shí)驗(yàn),建立一整套制作器件的工藝流程,確定了關(guān)鍵性的工藝參數(shù)。然后設(shè)計(jì)并構(gòu)建了測試器件的電光性能指標(biāo)的測試光路,測試并分析了電控液晶分子的常規(guī)光學(xué)效能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,通過調(diào)節(jié)