微型法-珀腔陣列光譜探測器研究.pdf

1、光譜儀是應(yīng)用光譜技術(shù)，對物質(zhì)的化學(xué)組成及含量進(jìn)行分析的重要儀器。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，部分小型光譜儀器由于其體積小、價(jià)格便宜、使用方便等特點(diǎn)己被廣泛應(yīng)用，但單芯片集成化微型光譜分析系統(tǒng)還處于研制階段。 本論文在國家自然科學(xué)基金資助下，通過對微型光譜儀國內(nèi)外研究現(xiàn)狀的分析，提出采用全介質(zhì)式微型法-珀腔陣列作為分光元件，用光電探測器陣列獲取光譜信號，從而實(shí)現(xiàn)分光元件和光電探測器一體化集成的新結(jié)構(gòu)；并且對所設(shè)計(jì)的微型法-珀腔陣列光譜探測

2、器相關(guān)理論和關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究，初步完成了相關(guān)的工藝設(shè)計(jì)。其具體研究內(nèi)容如下： 1．通過查閱大量國內(nèi)外微型光譜分析儀器相關(guān)文獻(xiàn)，深入分析國內(nèi)外微型光譜儀器的發(fā)展現(xiàn)狀，提出了單芯片集成化微型光譜探測器方案。 2．通過研究集成化微型法-珀腔陣列光譜探測器的相關(guān)基礎(chǔ)理論，建立了其理論模型，并且通過建立的理論模型模擬分析了法-珀腔的幾何尺寸、反射膜材料光學(xué)特性等參數(shù)與光譜分辨率、透射率等的關(guān)系。 3．根據(jù)微型法-珀腔陣列