微型紅外光譜儀中探測器陣列及接收系統(tǒng)的研究.pdf

1、作為一種典型微型光機電系統(tǒng)——微型光譜儀器，具有許多大型光譜儀器所不具備的優(yōu)點，并有著廣泛的應用范圍。因此，微型光譜儀器的研制已成為微型光機電系統(tǒng)的一個重要研究熱點。同時，為了實現(xiàn)微型光譜儀器的實用化，有必要研制與之相配套的信號采集和顯示處理系統(tǒng)，提高整個系統(tǒng)的性價比。 本論文以北京卓立漢光儀器有限公司定制的60mm焦距光譜儀分光系統(tǒng)為基礎，以近紅外光譜儀的接收系統(tǒng)為研究對象，主要完成微型光譜儀的集成，其中包括探測元件InGaA

2、s探測器陣列的研制以及基于單片機系統(tǒng)的光譜信號采集和顯示電路等。總體來看，本論文的研究工作主要集中在以下幾個方面： 1.優(yōu)化單項工藝條件，為制作探測器陣列提供基礎。研究Si3N4擴散掩蔽層的制備和腐蝕條件，并分析S13N4腐蝕速率與其生長條件的關系；研究閉管Zn擴散制作P型區(qū)，優(yōu)化擴散溫度和擴散時間；研究測量擴散結深度的方法；掌握制備探測器陣列時關鍵的擴散工藝。 2.完成探測元件InGaAs探測器陣列的研制，制作出32×