聚合物基微環(huán)諧振器的基礎研究.pdf

1、微環(huán)諧振器是構建和實現(xiàn)集成光子學功能器件的重要基礎波導單元。其緊湊的結(jié)構，獨特的波長選擇特性以及高Q因子等特性，使其可用于構建光分插復用器(OADM)，調(diào)制器，光開關，光延時線以及生物傳感器等功能器件。目前相關光子學器件大多采用無機材料制備，雖然器件具有低損耗，高穩(wěn)定性等優(yōu)點，但復雜的制備工藝帶來的高昂的成本在某種程度上制約了其的普及和應用。而采用聚合物基的光子學器件，可采用近年來興起的納米模壓技術進行器件的制備，大大降低成本。因此研究

2、新型光子聚合物材料，制備高性能，低成本的微環(huán)諧振器及相關光子學功能器件具有十分重要的意義。 第一部分是基于微環(huán)諧振器的基本理論，采用波導仿真模擬軟件對微環(huán)諧振器進行仿真模擬，并以開發(fā)的光子聚合物材料PSQ-L的光學特性參數(shù)和目前工藝條件為設計參數(shù)，設計跑道型的微環(huán)諧振器。 第二部分的工作主要圍繞新型聚合物PPESK基材料的成膜特性和光學特性進行了系統(tǒng)的研究。首先介紹了棱鏡耦合儀測量薄膜厚度和折射率的測量原理，并結(jié)合原理分