玻璃基微環(huán)諧振器的設計與制作.pdf

1、高密度平面光集成及與當今IC工藝相兼容是當前光波導技術(shù)發(fā)展的重要方向之一。由于微環(huán)結(jié)構(gòu)的功能多樣性、結(jié)構(gòu)緊湊性、很好的波長選擇性，使其成為很有潛力的集成光路基本功能結(jié)構(gòu)。隨著平面工藝水平的不斷提高，基于平面波導技術(shù)的光微環(huán)諧振器逐漸受到人們的關(guān)注和研究，并得以迅速發(fā)展。微環(huán)結(jié)構(gòu)在光電子領(lǐng)域的地位就像晶體管在電子領(lǐng)域一樣，幾乎所有光電器件功能都可以使用微環(huán)實現(xiàn)。使用玻璃基離子交換工藝制作的大半徑無源環(huán)諧振器可作為慣性旋轉(zhuǎn)傳感器、波長傳感器

2、、溫度傳感器、聲波傳感器和光學陀螺等，具有重要的應用價值。 論文在綜述了微環(huán)諧振腔的應用背景、發(fā)展歷程和研究玻璃基微環(huán)意義的基礎上，重點研究了玻璃基微環(huán)諧振器的設計與制作。根據(jù)耦合模理論分析了微環(huán)諧振器的工作原理；在設計中使用Rsoft公司的BeamProp軟件模擬來優(yōu)化器件尺寸；在工藝制作方面，結(jié)合實驗室離子交換技術(shù)的工藝條件，主要在三方面做了探索和比較工作：實驗中采用了不同的玻璃基底(BK7、B270、K9、Z0和Z1)；也