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文檔簡介
1、平面光波導是光集成的基礎結構.該文在系統(tǒng)綜述有源和無源平面光波導材料研究進展、前景和面臨的主要問題的基礎上,應用溶膠—凝膠技術,以TEOS和ZrOCL<,2>·8H<,2>O為先驅(qū)體,研制了用于有源光波導基質(zhì)材料的ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)凝膠玻璃塊材和薄膜.研究了ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)凝膠玻璃中,體系組分、熱處理溫度等對系統(tǒng)折射率的影響,確認了影響ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)薄膜折射率和厚度的幾個
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