2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩117頁未讀 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、隨著商業(yè)化氮化鎵(GaN)基發(fā)光二極管(LED)、激光器(LD)和高電子遷移率晶體管(HEMT)的相繼推出,性能卓越的GaN基器件引起了廣泛的關(guān)注。然而,過高的成本和大功率器件的技術(shù)瓶頸阻礙了GaN基光電子器件的產(chǎn)業(yè)化進程。
   由于GaN 體材料的缺失,GaN基光電子器件只能在異質(zhì)襯底上生長。考慮到Si襯底的眾多優(yōu)點,采用Si 作為襯底是降低GaN基光電子器件成本和開發(fā)新型大功率器件的有效途徑。然而,與藍(lán)寶石襯底和碳化硅襯底

2、相比,在Si 襯底上生長高質(zhì)量的GaN基材料較為困難:首先,GaN在高溫下易同Si 發(fā)生劇烈的合金反應(yīng)從而腐蝕襯底和外延層;其次,由于GaN與Si 襯底大的晶格失配和熱失配,GaN 外延材料存在缺陷密度高、易龜裂等問題。針對上述問題,本文系統(tǒng)地探討和研究了Si 襯底上GaN 外延層的MOCVD 生長工藝,主要研究內(nèi)容如下:
   首先,研究了Si 襯底的前期處理工藝對GaN 外延層后續(xù)生長的影響,特別是對高溫預(yù)鋪鋁工藝和氮化鋁(

3、AlN)緩沖層的生長工藝進行了優(yōu)化研究。結(jié)果表明:Si襯底的清洗和高溫烘焙工藝對襯底的表面形貌有顯著的影響,并影響到隨后AlN 緩沖層的生長;高溫預(yù)鋪鋁的時間不僅會影響襯底表面氮化的抑制效果,而且影響后續(xù)AlN 緩沖層生長的均勻性;AlN 緩沖層生長參數(shù)的變化則直接影響到Si和Ga的隔離效果和GaN 外延層的生長質(zhì)量,因而其優(yōu)化的意義重大。
   其次,研究了三類應(yīng)變緩沖層的設(shè)計與優(yōu)化,探討了它們對GaN 外延層張應(yīng)力和穿透位錯

4、消除作用的影響。為了有效地消除GaN 外延層中的張應(yīng)力,采用低溫氮化鋁(LT-AlN)成核層和若干LT-AlN 插入層的應(yīng)變緩沖層設(shè)計技術(shù),通過對插入層的層數(shù)、厚度和生長溫度的優(yōu)化,實現(xiàn)了厚度超過1.5μm 無裂紋的外延層生長,但外延層晶體質(zhì)量還有待提高;采用較厚的高溫(HT)AlN 緩沖層結(jié)合組分連續(xù)漸變的AlxGa1-xN 插入層的設(shè)計,通過對HT-AlN/Si(111)模板的優(yōu)化(例如AlN 厚度和生長V/III 比),及對Alx

5、Ga1-xN 插入層的組分漸變方式(線性和非線性)、漸變速率(生長速率)和厚度的優(yōu)化,發(fā)現(xiàn)生長較薄的、非線性的AlxGa1-xN組分連續(xù)漸變層就可以有效地消除張應(yīng)力和位錯密度,生長出超過1.5μm 無裂紋、高質(zhì)量的GaN 外延層;
   嘗試了幾種含超晶格結(jié)構(gòu)的應(yīng)變緩沖層設(shè)計,方案新穎獨特,但是在實驗中,因無法保證超晶格的界面陡峭性,未顯示出它在消除應(yīng)力和位錯上的作用。
   最后,在獲得高質(zhì)量GaN 外延層的基礎(chǔ)上,生

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論