2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、本課題研究了一種基于MEMS技術(shù)的具有微懸臂梁結(jié)構(gòu)的諧振式氣體傳感器。從理論上闡述了微懸臂梁結(jié)構(gòu)諧振式氣體傳感器的工作原理，設(shè)計(jì)了微懸臂梁的結(jié)構(gòu)、工藝版圖以及自激閉環(huán)諧振電路系統(tǒng)；利用Intellisuit軟件模擬并分析了其力學(xué)特性，討論微懸臂梁固有頻率與其結(jié)構(gòu)尺寸之間的關(guān)系。根據(jù)實(shí)際工藝條件及工藝設(shè)備，制定了切實(shí)可行的制作工藝方案，通過(guò)反復(fù)實(shí)驗(yàn)研制出傳感器，得出了KOH各向異性腐蝕技術(shù)在低溫下的腐蝕速率，實(shí)現(xiàn)了對(duì)腐蝕削角現(xiàn)象的有效補(bǔ)償

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