Li和Mn摻雜ZnO壓電薄膜的制備及性能研究.pdf_第1頁
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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文Li和Mn摻雜ZnO壓電薄膜的制備及性能研究姓名：陳文申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：王兢20051201陳文：Li和Mn摻雜ZnO壓電薄膜的制備及性能研究PreparationandstudyofLiorMndopedZnOpiezoelectricthinfilmsAbstractZincOxide(ZnO)isaclassic11一VIsemiconductormaterialwith

2、awidedirectband—gapof33eVatroomtemperatureIthasbeenextensivelyappliedinpiezoelectricityconversionsolarcellgassensorUVdetectorlightingdisplayerintegrateddeviceetcforitsexcellentphysicalpropertiesInthisthesis，thepreparatio

3、nandcharacteristicofZnOthinfilmswithandwithoutdopingforpiezoelectricsensorwereinvestigatedInthiswork，ZnOpiezoelectricthinfilmswerepreparedbysol—gelmethodonPt／Ti／Si02／SisubstratesDopantsourcewereLiCl，Li2COsandMn(CHsCOO)2，

4、repetitivelyXraydiffraction(XRD)，Atomforcemicroscopy(AFM)，X—rayphotoelectronspectroscopyⅨPS)andCurrent—Voltage(I—V)wereadoptedtocharacterizeZnOthinfilmsItwasrevealedthatcorientationofundopedfilmswasaffectedbybothdryingan

5、dannealingtemperatures，andthelatterwasmoreremarkableTheresistivityofZnOthinfilmsafterdopingLiandMn”wasrapidlyincreasedDopingofLiECOsdecreasedtheannealingtemperatureforformingCaxisorientationfrom6000Cto550。C，comparedwithu

6、ndopedandLiCI—dopedZnOthinfilmsCo—dopedZnOthinfilmspossessedpreferredcaxisorientation，goodstoichiometryratioandquitehighresistivitywhenannealedatboth600。Cand5500Cnleannealingtemperaturerangeofpreferredcaxisorientationwas

7、muchwiderforMn—dopedZnOthinfilmsTheinfluenceofthetechnicalparametersuchasdopingconcentrationandannealingtemperatureontheCaxisorientation，morphologystoichiometryandresistivityofZnOthinfihnswerethoroughlydiscussedthroughun

8、dopedLi一dopedandMn2dopedZnOthinfilmsiDthisthesisTheperformanceofZnOthinfilmsabminedinthisworkCanbasicallymeettherequirementforpiezoelectricsensorThecharacteristicofZnOpiezoelectricfilmswasimprovedbydopingandthereasonfori

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