氣相質(zhì)子交換技術(shù)的研究.pdf

1、隨著下一代全光通信網(wǎng)絡(luò)的應(yīng)用,光通信器件的研究越來越受到人們的重視。很多光通信器件都具有波導(dǎo)的結(jié)構(gòu),為了制作出優(yōu)良性能的波導(dǎo)器件,我們就需要對波導(dǎo)制作技術(shù)進(jìn)行研究。本文主要研究氣相質(zhì)子交換法制作鈮酸鋰光波導(dǎo)的技術(shù)。論文首先回顧了鈮酸鋰電光調(diào)制器的研究進(jìn)展,闡述了對氣相質(zhì)子交換法進(jìn)行研究的必要性,介紹了質(zhì)子交換工藝研究的發(fā)展情況,指出了氣相質(zhì)子交換法波導(dǎo)的特點(diǎn),以及采用此方法制作波導(dǎo)的優(yōu)勢。論文對各種材料及使用的制作波導(dǎo)方法進(jìn)行介紹,在了

2、解鈮酸鋰晶體基本物理性質(zhì)的基礎(chǔ)上,闡述了氣相質(zhì)子交換法的交換機(jī)理和波導(dǎo)層折射率分布的理論模型,還介紹了一種分析波導(dǎo)層折射率分布情況的方法-WKB法。作者設(shè)計氣相質(zhì)子交換法的實(shí)驗(yàn)裝置和工藝流程,通過一系列實(shí)驗(yàn)制備光波導(dǎo),用反WKB法獲得氣相質(zhì)子交換波導(dǎo)的模折射率分布情況,并和液相質(zhì)子交換法制作的波導(dǎo)做了比較,得出氣相法波導(dǎo)折射率分布呈高斯型而液相法波導(dǎo)折射率分布呈階躍型的結(jié)論。作者還研究了氣相法波導(dǎo)的穩(wěn)定性和易于精確控制制作出單模波導(dǎo)的優(yōu)