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文檔簡介
1、原子力顯微鏡（AFM）是在掃描隧道顯微鏡（STM）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的表面檢測儀器,它克服了STM不能檢測絕緣材料的缺點，是納米科技中最為有效和重要的檢測加工手段，它的發(fā)明和應(yīng)用極大地促進了納米科技的發(fā)展。反之隨著原子力顯微鏡成功的應(yīng)用于物理、化學(xué)、微電子、納米材料、生命科學(xué)和微機械加工等眾多科學(xué)領(lǐng)域中，對于儀器本身的結(jié)構(gòu)、性能、穩(wěn)定性、操作的簡便性都有不同的要求，因而更加引起人們的重視其發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化。 通過對AFM基本原理的了解
2、，以及對相應(yīng)于不同應(yīng)用的改進技術(shù)和在同樣原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型檢測儀器的了解為背景，通過比較和分析，找出現(xiàn)有儀器主要的缺陷和不足,在比較深入的體會的基礎(chǔ)之上，改進原有儀器的不足，設(shè)計出IPC－208B型原子力顯微鏡，使之集AFM與STM為一體的AFM，其中的STM可以單獨使用。并進行了初步的實驗研究，積累了應(yīng)用經(jīng)驗。目前，該機已有很好的檢測效果，其橫向分辨力優(yōu)于0.1nm，縱向分辨力0.01nm，不僅拓展了AFM的應(yīng)用領(lǐng)域，也為AFM
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