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1、北京交通大學碩士學位論文二氧化釩薄膜的制備及其光學電學特性研究姓名:管康萍申請學位級別:碩士專業(yè):光學指導教師:成正維20080601ABSTRACTABSTRACT:V02materialisawidelyusedonthethermalmaterial,ithasavarietvofcrystalstructures,amongthemV02(1舊andV0203)h觴differentfeatureswhichcanbeusedf
2、ordifferentpurposesV02(峋isakindoffunctionalphasechangingmaterialWiththechangeintemperatureitsstructurewillappearthei仃eversiblesemiconductormetalstatetransitionatthesametime,themutationsofresistance,infraredtransmissionan
3、dotherphysicalnatureswilloccurthephasetraIlsitionpointisinthevicinityof68℃Thesepropertiescanbeusedtoswitchheat,caIlalsobeusedinanti1aserradiationBetween20℃and100℃,V0203)hasnopha∞transitionwithsuitableresistanceandhightem
4、peraturecoefficientoftheresistanceTheseadvantagesforuncooledinfraredthermaldetectionmaterialareveryfavorableInmyworkRFmagnetronsputteredfilmsofV02㈣ongeneralglass,fusedsilicaglassandfilmsofV02(B)0nordinaryglasssubstratear
5、epreparedByXraydi箭action(Ⅺm),theV020田andV02(B)filmswerecharacterizedTheratioofresistaJlcechangeistestedusingFourProbesMethodV02(舊filmontheglasssdbstrateresistivelychangestotWOordersofmagnitude,onthemeltingquartzsubstrate
6、resistivelychangestothethreeordersofmagnitudeResistance。temperaturecharacteristicsofV0203)filmswerealsostadiesWithFouriertransforminfraredspectrometerandautomaticEllipsometrygage,transmissionrateoffilmtemperature鋤dre仔act
7、iVeindexthetemperatureofV02(M)andV02(B)werestudyOnordinary91asssubstrateV02filmschangesitstransmissionratefrom59percentinthelowtemperaturestateto23percentinhigh—temperaturstate,changedby36percent;onquartzsubstrateV02film
8、sfromthelowtemperaturestatetransmissionrateof70percentto14percentofstatehightemperature,Changedby56percentOnordinary91assSubstratetheV02㈣film,therefractiveindexincreasedfrom2372beforethephasetransitionto2615afterthephase
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