MEMS工藝集成化設計及其可視化.pdf

1、該論文針對目前微型機電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)設計復雜、直觀性差等問題,提出了工藝集成化設計和可視化的可行性解決方案,對其中的關鍵技術進行了研究,并基于所提出的方案研究了工藝設計的集成化和工藝可視化的實現(xiàn)技術.首先,探討了MEMS加工方法的來源,對加工工藝進行了詳細的分類,選用目前最通用的表面加工工藝作為該論文的研究對象,對MEMS表面微加工的標準工藝MUMPS工藝進行了詳細的分析

2、;建立了MEMS器件的三維幾何模型,采用面向數(shù)據(jù)的建模方法建立了表面加工工藝的各工序模型;采用面向過程的方法建立了表面工藝過程的統(tǒng)一模型.其次,進行了工藝集成化設計的體系結構以及數(shù)據(jù)庫支持、版圖信息和工藝信息的存儲格式等關鍵技術的研究,采用數(shù)據(jù)庫技術和界面集成方法,設計開發(fā)了工藝設計的集成化軟件環(huán)境,實現(xiàn)了工藝設計中各種信息的集成化.最后,詳細研究了標準工藝具體的工藝可視化算法,包括幾何圖形的交集、并集和差集運算以及各種工序的可視化算法