MEMS工藝集成化設(shè)計(jì)及其可視化.pdf

1、該論文針對目前微型機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)設(shè)計(jì)復(fù)雜、直觀性差等問題,提出了工藝集成化設(shè)計(jì)和可視化的可行性解決方案,對其中的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究,并基于所提出的方案研究了工藝設(shè)計(jì)的集成化和工藝可視化的實(shí)現(xiàn)技術(shù).首先,探討了MEMS加工方法的來源,對加工工藝進(jìn)行了詳細(xì)的分類,選用目前最通用的表面加工工藝作為該論文的研究對象,對MEMS表面微加工的標(biāo)準(zhǔn)工藝MUMPS工藝進(jìn)行了詳細(xì)的分析

2、;建立了MEMS器件的三維幾何模型,采用面向數(shù)據(jù)的建模方法建立了表面加工工藝的各工序模型;采用面向過程的方法建立了表面工藝過程的統(tǒng)一模型.其次,進(jìn)行了工藝集成化設(shè)計(jì)的體系結(jié)構(gòu)以及數(shù)據(jù)庫支持、版圖信息和工藝信息的存儲格式等關(guān)鍵技術(shù)的研究,采用數(shù)據(jù)庫技術(shù)和界面集成方法,設(shè)計(jì)開發(fā)了工藝設(shè)計(jì)的集成化軟件環(huán)境,實(shí)現(xiàn)了工藝設(shè)計(jì)中各種信息的集成化.最后,詳細(xì)研究了標(biāo)準(zhǔn)工藝具體的工藝可視化算法,包括幾何圖形的交集、并集和差集運(yùn)算以及各種工序的可視化算法