新型壓電掃描器的反饋控制的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、快速控制反射鏡（FSM）廣泛應(yīng)用于空間光通信、天文觀測、航天技術(shù)、激光雷達(dá)、激光加工、激光三維測量等領(lǐng)域，是一種可以實現(xiàn)對光束方向進(jìn)行精密控制或者快速掃描的核心器件。實現(xiàn)掃描器的陣列化技術(shù)對于設(shè)備反應(yīng)速度的提升，以及多功能的集成具有極大的意義。要實現(xiàn)陣列化技術(shù)，就對系統(tǒng)的各項性能提出了更高的要求。原來的開環(huán)控制技術(shù)目前暫時能夠滿足對系統(tǒng)穩(wěn)定性，響應(yīng)速率等性能的要求，但是采用閉環(huán)控制技術(shù)是更好的選擇。
　　本課題主要研究了一維和二維

2、壓電陶瓷驅(qū)動的FSM子鏡系統(tǒng)，以及陣列化二維FSM系統(tǒng)的反饋控制技術(shù)。硬件方面，完成了傳感器安裝，系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設(shè)計，信號處理電路的設(shè)計等內(nèi)容。軟件方面，完成了數(shù)據(jù)采樣及處理，系統(tǒng)模型的建立等內(nèi)容，具體包括以下四個方面。
　?。?）根據(jù)傳感器特點及應(yīng)用環(huán)境，選定電阻應(yīng)變片作為反饋傳感器，研究并完成了電阻應(yīng)變片的安裝工作和探測系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設(shè)計，獲得了良好的結(jié)果。
　?。?）設(shè)計了電阻應(yīng)變片的信號處理電