用于液晶導(dǎo)光板輥筒型模具加工的超精密機(jī)床設(shè)計(jì).pdf

1、隨著航空航天、國防高尖端技術(shù)以及民用高技術(shù)產(chǎn)品的迅速發(fā)展，超精密機(jī)床已經(jīng)成為必不可少的裝備。超精密機(jī)床的研發(fā)也成為現(xiàn)代高精尖技術(shù)產(chǎn)品制造的核心關(guān)鍵技術(shù)之一。本文基于所設(shè)計(jì)的用于液晶導(dǎo)光板滾筒模具表面精加工的超精密機(jī)床，從機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、液體靜壓導(dǎo)軌的靜態(tài)特性研究和機(jī)床力學(xué)性能研究等三個方面對所設(shè)計(jì)的超精密機(jī)床進(jìn)行研究。因此，本文的主要研究內(nèi)容包括：
　　超精密機(jī)床的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。根據(jù)所需加工工件的尺寸范圍，制定機(jī)床的總體設(shè)計(jì)方案，確

2、定各零部件間的布置方式；進(jìn)而確定整機(jī)與各零部件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)目標(biāo)和功能部件的類型（如主軸、導(dǎo)軌、驅(qū)動裝置、反饋裝置的類型）以及相應(yīng)型號的選擇；并通過液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)計(jì)算確定 X和Z軸液體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形狀和尺寸，完成液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)；最終完成整機(jī)及其零部件的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
　　液體靜壓導(dǎo)軌的靜態(tài)特性研究。本機(jī)床導(dǎo)軌采用的是液體靜壓導(dǎo)軌，為了確保導(dǎo)軌的承載能力和剛度要求，有必要對其靜態(tài)特性進(jìn)行研究。因此，通過推導(dǎo)出液體潤滑雷諾方程，

3、并通過加權(quán)余量法、有限元方法，建立液體靜壓潤滑的理論模型。然后借助MATLAB編程求解，獲得液體靜壓導(dǎo)軌的承載能力、剛度等靜態(tài)特性。
　　超精密機(jī)床的力學(xué)性能研究。運(yùn)用有限元方法，借助有限元軟件 ANSYS對整機(jī)及其相關(guān)功能部件進(jìn)行靜力學(xué)分析、動力學(xué)分析和熱分析，獲得相關(guān)結(jié)構(gòu)的剛度、和變形，模態(tài)振型和固有頻率以及溫度分布等情況。對獲得的結(jié)果加以分析，為機(jī)床結(jié)構(gòu)的完善提供理論支撐和建議。
　　綜上所述，通過從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)入手，再基