非晶硅薄膜的YAG激光退火技術(shù)研究.pdf

1、新型環(huán)?？稍偕茉词钱?dāng)前新能源領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)，太陽能在眾多新能源中占有重要的地位，太陽能電池作為太陽能應(yīng)用的手段之一，其研究和應(yīng)用的速度越來越快。
　　 單晶硅和多晶硅太陽能電池受成本制約難以普及，因而成本相對較低的非晶硅薄膜太陽能電池成為當(dāng)前太陽能光伏領(lǐng)域研究的熱門。非晶硅薄膜電池的襯底材料在太陽能電池成本中占相當(dāng)?shù)谋壤?，低成本襯底材料的開發(fā)是非晶硅薄膜太陽能電池普及的重要條件。同時，不同襯底材料上的非晶硅薄膜的退火處理也是太

2、陽能電池制造的一個重要工藝步驟，是制約生產(chǎn)成本的一個重要環(huán)節(jié)。非晶硅薄膜的激光退火工藝是一個新興的研究領(lǐng)域，具有相當(dāng)高的研究價值。
　　 本文利用廉價的工業(yè)級高摻雜多晶硅作為襯底材料，采用等離子化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備在襯底表面沉積非晶硅薄膜，使用YAG脈沖激光器對非晶硅薄膜進(jìn)行退火處理，研究不同激光脈沖頻率下非晶硅薄膜的晶化情況。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，脈沖激光退火工藝可使非晶硅薄膜快速結(jié)晶，生成納米級微晶顆粒，激光脈沖的頻率對結(jié)