非晶硅薄膜的YAG激光退火技術(shù)研究.pdf

1、新型環(huán)?？稍偕茉词钱?dāng)前新能源領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)，太陽(yáng)能在眾多新能源中占有重要的地位，太陽(yáng)能電池作為太陽(yáng)能應(yīng)用的手段之一，其研究和應(yīng)用的速度越來(lái)越快。
　　 單晶硅和多晶硅太陽(yáng)能電池受成本制約難以普及，因而成本相對(duì)較低的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池成為當(dāng)前太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域研究的熱門(mén)。非晶硅薄膜電池的襯底材料在太陽(yáng)能電池成本中占相當(dāng)?shù)谋壤统杀疽r底材料的開(kāi)發(fā)是非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池普及的重要條件。同時(shí)，不同襯底材料上的非晶硅薄膜的退火處理也是太

2、陽(yáng)能電池制造的一個(gè)重要工藝步驟，是制約生產(chǎn)成本的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。非晶硅薄膜的激光退火工藝是一個(gè)新興的研究領(lǐng)域，具有相當(dāng)高的研究?jī)r(jià)值。
　　 本文利用廉價(jià)的工業(yè)級(jí)高摻雜多晶硅作為襯底材料，采用等離子化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備在襯底表面沉積非晶硅薄膜，使用YAG脈沖激光器對(duì)非晶硅薄膜進(jìn)行退火處理，研究不同激光脈沖頻率下非晶硅薄膜的晶化情況。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，脈沖激光退火工藝可使非晶硅薄膜快速結(jié)晶，生成納米級(jí)微晶顆粒，激光脈沖的頻率對(duì)結(jié)