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文檔簡介
1、本文研究了非硅微尺度材料的力學(xué)特性。微機電系統(tǒng)(micro-electron-mechanical system)，簡稱MEMS，于20世紀80年代初期，作為一個獨立的學(xué)科明確形成。它利用集成電路工業(yè)的技術(shù)和工藝(如微金屬板印刷技術(shù)、蝕刻技術(shù)等)，在硅或其它材料上制作微型化(通常在微米尺度)的傳感器、執(zhí)行器以及微結(jié)構(gòu)．MEMS裝置在許多情況下，比起相應(yīng)的“傳統(tǒng)”裝置更具優(yōu)勢，包括大幅度縮小尺寸，完成以前無法實現(xiàn)的新功能、在芯片上處理信號
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