電化學(xué)加工硅微通道生長動(dòng)力學(xué)特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、硅微通道陣列因其具有特殊性結(jié)構(gòu)而在很多方面諸如硅微通道板、微型化工儀器、微型生物芯片、微全分析儀等發(fā)揮其重要作用。近年來，MEMS技術(shù)的飛速發(fā)展帶動(dòng)了硅微通道朝著高效率、微型化的方向不斷邁進(jìn)，因此硅微通道結(jié)構(gòu)其有著十分廣闊的應(yīng)用前景及研究價(jià)值，吸引了越來越多科研人員的足夠重視。
　　硅微通道的制備工藝是從宏孔硅的制作工藝上發(fā)展而得到的硅微通道光電化學(xué)加工技術(shù)，此種工藝的優(yōu)勢在于其制備的硅微通道成本低廉、操作簡便且易得到具有高長徑比

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