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文檔簡介
1、在光電技術(shù)突飛猛進(jìn)發(fā)展的今天，鍍膜裝置與技術(shù)也在不斷發(fā)展與進(jìn)步。在目前已經(jīng)實用化軟X射線多層膜制備當(dāng)中，離子束濺射(IBS)技術(shù)成膜質(zhì)量較好，沒有電磁波干擾，易于對鍍膜過程進(jìn)行實時控制。目前人們普遍認(rèn)為這種方法是制備軟X射線多層膜最有效、最有發(fā)展前途的方法。 本文敘述了膜厚測量原理與膜厚控制技術(shù)的研究以及一個智能化控制裝置的研制；系統(tǒng)介紹了一個基于CPLD的鍍膜機膜厚控制系統(tǒng)的總體構(gòu)成。由于采用了CPLD技術(shù)，使系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、成本大
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