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文檔簡(jiǎn)介
1、本文介紹了TDL-150型單晶爐爐體的優(yōu)化設(shè)計(jì)過(guò)程,對(duì)爐底、主爐室、爐蓋各個(gè)部件進(jìn)行了自主設(shè)計(jì),并完成了全部技術(shù)文件. 對(duì)單晶爐溫場(chǎng)也做了系統(tǒng)的研究:對(duì)石墨加熱器進(jìn)行了熱電耦合模擬,確定了化硅電流、電壓；在爐體能得到充分冷卻的條件下優(yōu)化了冷卻水流速,降低了拉晶成本；確定化硅過(guò)程坩堝的位置,使化硅過(guò)程順利進(jìn)行；對(duì)長(zhǎng)晶不同階段的溫場(chǎng)進(jìn)行了全局模擬,得到了長(zhǎng)晶各個(gè)階段爐內(nèi)溫場(chǎng)分布,對(duì)溫場(chǎng)的合理性進(jìn)行了分析,同時(shí)利用Dornberger
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