MEMS-DMs（微機電系統(tǒng)變形反射鏡）中的有限元分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、自適應光學是一門集科學性和工程性為一體的綜合學科,它研究實時自動改善光波波前質(zhì)量的理論、系統(tǒng)、技術和工程.微小型自適應光學采用MEMS(微機電技術)技術,極大的改變了傳統(tǒng)自適應光學器件體積、重量大的特點,使得自適應光學器件通過衛(wèi)星上空成為可能,在衛(wèi)星上裝載自適應光學系統(tǒng)可以極大改善了衛(wèi)星的圖像質(zhì)量,提高了衛(wèi)星的分辨率.有限元的是近年發(fā)展非常迅速的一門學科,在多個學科領域有著廣泛的應用,微小自適應光學系統(tǒng)中的變形反射鏡常采用有限元的方法來

2、分析.MEMS器件也大多采用有限元分析,分析時往往涉及到很力電熱等多學科領域.有限元的耦合分析可以很好的解決多學科分析的問題.在有限元的分析中,連續(xù)區(qū)域的離散化,即劃分網(wǎng)格是很重要,很關鍵的部分,它決定了以后計算分析的精度和計算的時間.在本課題的研究中,所分析的區(qū)域很規(guī)則,劃分網(wǎng)格不需要使用其他復雜的算法,由于劃分網(wǎng)格在有限元分析中的地位,還是在網(wǎng)格劃分這一塊做了很多的工作.通過對有限元的理論分析,在本文中使用Matlab自編程計算了一

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