超聲波磁流變復(fù)合拋光面形誤差修正技術(shù)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代光學技術(shù)飛速發(fā)展，非球面光學元件得到廣泛的應(yīng)用，對光學元器件的面形精度及亞表層損傷程度的要求越來越高。自20世紀60年代以來，各國陸續(xù)發(fā)展了針對復(fù)雜曲面的計算機控制拋光技術(shù)，實現(xiàn)拋光過程的定量去除和確定性控制，計算機控制拋光技術(shù)已成為光學元件超精密加工的重要手段。受加工條件限制，現(xiàn)有的拋光技術(shù)很難應(yīng)用于小曲率半徑的非球面光學元件的加工。計算機控制超聲波磁流變復(fù)合拋光技術(shù)是針對小曲率半徑的凹非球面和自由曲面光學元件的加工方法。本文

2、對計算機控制超聲波磁流變復(fù)合拋光面形誤差修正技術(shù)進行了研究，主要的研究工作包括以下幾個方面：
　　首先，研究計算機控制超聲波磁流變復(fù)合拋光駐留時間算法。根據(jù)面形誤差、去除函數(shù)數(shù)學模型及面形精度要求，編程實現(xiàn)反復(fù)卷積迭代求解駐留時間，分別研究了按比例估算及簡森-范希圖特法兩種駐留時間算法；為降低小拋光工具頭修正面形后留下的高頻誤差，規(guī)劃偽隨機一筆劃拋光軌跡。
　　其次，研究基于UG的NC代碼自動生成及加工仿真。建立工件的參數(shù)化

3、模型，基于UG/CAM生成拋光軌跡；利用UG/Post Builder開發(fā)針對超聲波磁流變復(fù)合拋光裝置的后置處理器；構(gòu)建集成仿真與驗證(IS&V)系統(tǒng)，對加工過程中機床運動的正確性進行了仿真驗證；
　　最后，研究計算機控制面形修正拋光實驗。將生成的NC代碼和駐留時間相結(jié)合生成執(zhí)行代碼，計算機控制五軸聯(lián)動拋光系統(tǒng)進行面形修正實驗。隨機軌跡拋光采用平面工件進行面形修正實驗，研究拋光后工件表面的功率譜密度，研究結(jié)果表明隨機拋光軌跡能降低