PDMS微型蠕動泵性能的有限元分析.pdf

1、在微流控分析系統(tǒng)中，微流體驅(qū)動技術(shù)是實現(xiàn)微流體控制的前提和基礎(chǔ)，雖然目前用于微流體驅(qū)動的微泵有很多種，但要實現(xiàn)芯片上實驗室這一目的，首先應(yīng)該使微泵和微流控器件實現(xiàn)集成化。 本文在計算機軟件平臺上對多層軟光刻技術(shù)制作的聚二甲基硅氧烷(PDMS)氣動微泵進行了研究。該微泵的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)和制作方法簡單、復(fù)制速度快、造價低、易于和其它微流控器件形成集成化。計算機輔助技術(shù)的應(yīng)用能夠大大減少新器件研制的費用和時間，并能保證器件的設(shè)計合理。本文

2、的意義在于利用計算機模擬微泵的某些性能使我們對微泵的工作情況有更進一步的了解，從而有利于微泵的優(yōu)化設(shè)計。 文章介紹了微泵的種類及其發(fā)展，簡要介紹了ANSYS作為有限元分析軟件在結(jié)構(gòu)、流體和耦合分析上的應(yīng)用；利用ANSYS軟件模擬了PDMS微型蠕動泵的結(jié)構(gòu)，并且根據(jù)該軟件所提供的結(jié)構(gòu)分析模塊對微泵的PDMS氣動薄膜進行受力形變分析，得出了二維模型的薄膜在不同壓強下的形變程度及壓強一形變位移曲線；利用ANSYS軟件建立液體通道的三維