直流電弧等離子體法制備Si納米粉末.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文詳細(xì)地介紹了Si納米粉末獨(dú)有的特殊性質(zhì)以及它在微電子與計(jì)算機(jī)應(yīng)用方面的巨大潛力;對直流電弧等離子體法制備納米粉末的機(jī)理進(jìn)行了描述;并由宏觀工藝參數(shù)出發(fā),以流體動力學(xué)理論為工具,對電弧等離子體制粉設(shè)備中的沉積室內(nèi)的氣體流動情況進(jìn)行了分析,建立了相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型;用數(shù)值計(jì)算的方法對該模型進(jìn)行了計(jì)算,得到了沉積室內(nèi)空間各點(diǎn)的速度分布等微觀參數(shù);通過分析沉積室內(nèi)的流場情況以及Si納米粉自身的一些性質(zhì),找出了宏觀工藝參數(shù)與微觀參數(shù)之間的聯(lián)系,了

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