PN結同位素微電池制作工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、大連理工大學碩士學位論文PN結同位素微電池制作工藝研究姓名：王培超申請學位級別：碩士專業(yè)：機械電子工程指導教師：褚金奎20071201PN結同位素微電池制作工藝研究FabricationProcessofPNJunctionRadioisotopeMicroBatteryAbstractAsthedevelopmentofMEMS0v[i∞ElectroMechanicalSystem)，Micropoworbecomesakeypro

2、bleminMEMSapplicationgraduallyConventionalmicropowercallnotmeettheenergyrequirementofMEMSbecauseofrestrictofvolume，lifetime，adaptationforenvironment，integrationandsoonRadioisotopeMicroBatterybasedonBradiovoltaiceffecthas

3、thecharacteristicsoftittlevolume，samplestructure，highstability，longlifetime，highdensityofenergymbnstandsoonmoreimportantly，inthecoulseofapplicationitdoesnotneedfrequentlytosupplymaterialsorenergyforthemthusbecometheresea

4、rchdirectionofmicropowerEnergyconvertstructureisthecoreofRadioisotopeMicroBattery，anditsperformaneeaffeetstheefficiencyoftheRadioisotopeMicroBatteryseriously，thusitisimportanttoimprovetheefficiencyoftheenergyconvertstruc

5、tureInthisthesis，optimizationoftheenergyconvertstructureofRadioisotopeMicroBatterybasedonBradiovoltaiceffectisperformedmaskofthemetalcontactsisdesigncdLandthefabricationprocessisinvestigatedatthesametimeThemainconlentisa

6、sfollows：Firstly，thesbuctureandworkprincipleofRadioisotopeMicroBatteryareintroduced，includingthesortofRadioisotopeMicroBatterythegenerationrecombinationandtransmissionofelectronholepairsSecondlytheenergyconvertstructurei

7、soptimized；thesurfaceareaisincreasedto173％viaetchinginvertedpyramidandchannelarrayAndtheperformanceisexpectedtobeimprovedbyselectiveemitterstructureAtthesametimemaskdesignisperformeduscLEDITFinallyfabricationprocessofRad

8、io／sotopeMicroBatteryespeciallyofthemetalcontactsisinvestigatedMICisavoidedthroughuseSimoldAndanewprocessforthefabricationofthemetalcontactsofRadioisotopeMicroBatteryusingliftoffprocesswithSU8photoresistisproposedviausin

9、gBP212photoresistasasacrificiallayerSUBinthechannelsisremovedeffectivelyRadioisotopeMicroBatterywithinvertedpyramidandchannelarmyiSfabricatedsuccessfullySatisfiedoutputcharacteristiciSobtainedKeyWords：MEMS：RadioisotopeMi

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